民國34年,台灣光復後,中央政府鑒於當時台灣環境與政經情況,遂設立「臺灣省行政長官公署」以接收台灣總督府之相關業務,特於所屬「工礦處」下設「公共工程局」,負責原「總督府土木課」之業務;36年5月改制為「建設廳公共工務局」;38年10月,併入建設廳成立土木科,辦理都市計畫及行政業務。42年9月成立「工程總隊」,將公共工程業務納入都市計畫業務之內。47年5月與省建設廳所屬之營建處合併改組為「公共工程局」,由下轄之「市鄉計畫組」負責都市計畫規劃工作。
民國58年間,台灣省政府鑑於工商快速發展及社會逐漸變遷,造成人口大量集中都市,導致都市問題日益嚴重,乃於同年12月擴大市鄉計畫組於「台灣省政府建設廳公共工程局」下成立「都市計畫規劃總隊」,為本分署市鄉規劃處之前身。
民國62年10月,政府為精簡機構及事權一元化,將「台灣省政府建設廳公共工程局市鄉規劃組」與「台灣省政府建設廳公共工程局都市計畫規劃總隊」合併成立「台灣省政府建設廳公共工程局市鄉規劃處」,負責辦理本省區域計畫、省訂都市計畫之研擬及協助縣市政府、鄉鎮市公所擬訂都市計畫等工作。
民國68年3月,「台灣省國民住宅興建委員會」與「台灣省政府建設廳公共工程局」合併改組為「台灣省住宅及都市發展局」,市鄉規劃處乃隸屬於該局為「台灣省住宅及都市發展局市鄉規劃處」,係省屬三級機關。
民國75年1月,「台灣省住宅及都市發展局」增列「政府」二字為「台灣省政府住宅及都市發展局」,本分署隨同改制為「台灣省政府住宅及都市發展局市鄉規劃處」。
民國86年8月,配合上級機關名稱「台灣省政府住宅及都市發展局」變更為「台灣省政府住宅及都市發展處」,由原「台灣省政府住宅及都市發展局市鄉規劃處」更名為「台灣省政府住宅及都市發展處市鄉規劃局」。
民國88年7月1日,配合台灣省政府功能業務與組織調整,改隸「內政部營建署」,機關名銜為「內政部營建署市鄉規劃局」。
本分署為完成機關組織法制化作業,並達成組織精簡目標,與同屬精省改隸機關之內政部營建署新生地開發局整併改制成立「內政部營建署城鄉發展分署」,組織規程、辦事細則及編制表,業奉行政院97年7月14日核定、內政部97年8月20日發布,並自97年8月22日施行。